Polysilicium de qualité électronique : la « nourriture » de l’industrie de l’information électronique
Avec le développement vigoureux de l’industrie photovoltaïque, l’industrie nationale du polysilicium a atteint la plus grande production mondiale en un peu plus de dix ans, et le coût de production a également atteint le niveau avancé du monde. Le polysilicium de haute pureté est la matière première de base de l’industrie de l’information et de l’industrie de la production d’énergie solaire photovoltaïque, et de nombreux pays développés dans le monde le considèrent comme un matériau stratégique.
Les exigences de pureté du polysilicium de qualité électronique sont extrêmement élevées et c’est la substance la plus pure qui puisse être obtenue par l’industrialisation humaine.
Le polysilicium de qualité électronique peut être divisé en polysilicium de qualité électronique pour la fusion de zone et le polysilicium Czochralski de qualité électronique. Les exigences de qualité du polysilicium pour la fusion de la zone de qualité électronique sont plus strictes. Le silicium monocristallin produit par le procédé de fusion de zone a une faible teneur en oxygène et en carbone, une faible concentration en porteurs et une résistivité élevée. Il est principalement utilisé dans la fabrication d’IGBT, de redresseurs haute tension, de thyristors et de transistors haute tension. et d’autres dispositifs semi-conducteurs haute tension et haute puissance. Les tranches de silicium monocristallin produites par la méthode Czochralski sont largement utilisées dans les mémoires de circuits intégrés, les microprocesseurs, les puces de téléphones portables, les transistors basse tension, les appareils électroniques et autres produits électroniques. %au dessus.
En outre, les équipements de test de polysilicium de qualité électronique de mon pays dépendent toujours des importations. Du côté de la fabrication, mon pays a essentiellement résolu le problème de la substitution localisée des équipements et matériaux connexes. Cependant, l’équipement de test de base pour les produits en polysilicium dépend entièrement des importations, telles que le spectromètre infrarouge à transformée de Fourier à basse température LT-FTIR, le spectromètre de masse à plasma à couplage inductif ICP-MS, etc., et le processus de test nécessite des niveaux de test extrêmement élevés. personnel.
À en juger par le développement international actuel de la technologie de production de polysilicium de qualité électronique, les processus de production comprennent principalement la méthode au silane, la méthode de dépôt gaz-liquide, le lit fluidisé et Siemens amélioré.
Le coût de production de la méthode au silane est élevé et le silane utilisé est explosif, inflammable et peu sûr. Même à température ambiante, il y aura un risque d’incendie. La méthode de dépôt gaz-liquide a été développée et contrôlée par le Japon. En production, un réacteur tubulaire est principalement utilisé et la condition de température de fonctionnement est contrôlée à 1500 ° C pour générer du silicium liquide directement dans le gaz. Actuellement, il en est encore au stade de la recherche et des tests. Non utilisé pour la production de masse. La méthode de traitement à lit fluidisé consiste principalement à effectuer un contrôle complet des impuretés du produit, de sorte qu’elle ne peut pas produire de polysilicium de qualité électronique de haute qualité.
Le polysilicium de qualité électronique est le matériau stratégique le plus fondamental dans l’industrie de l’information électronique, qui est liée à l’économie nationale, à la société et à la sécurité de la défense nationale de mon pays. Comment produire de manière continue et stable du polysilicium de qualité électronique de haute pureté pour répondre aux besoins des entreprises en aval en matériaux de silicium de qualité électronique est un sujet de recherche important auquel sont confrontées les entreprises de polysilicium. Il est nécessaire de contrôler strictement tous les processus de l’ensemble du processus de production de polysilicium, de réduire au minimum divers facteurs susceptibles de provoquer une pollution et de mettre en œuvre des opérations allégées et raffinées dans le processus d’exploitation, de modifier les mauvaises habitudes et d’améliorer la gestion. Le polysilicium de qualité électronique a sa place sur le marché.