전자급 폴리실리콘: 전자 정보 산업의 “식품”

태양광 산업이 비약적으로 발전함에 따라 국내 폴리실리콘 산업은 불과 10여 년 만에 세계 최대 생산량에 도달했으며 생산 비용도 세계 선진 수준에 도달했습니다. 고순도 폴리실리콘 소재는 정보산업과 태양광발전산업의 기초원료이며, 세계의 많은 선진국들은 이를 전략소재로 생각하고 있습니다.

전자 등급 폴리실리콘의 순도 요구 사항은 매우 높으며 인간의 산업화로 얻을 수 있는 가장 순수한 물질입니다.

전자급 폴리실리콘은 존 용융용 전자급 폴리실리콘과 전자급 초크랄스키 폴리실리콘으로 나눌 수 있습니다. 전자 등급 구역 용융을 위한 폴리실리콘의 품질 요구 사항은 더 엄격합니다. 존 용융법에 의해 생산된 단결정 실리콘은 낮은 산소 및 탄소 함량, 낮은 캐리어 농도 및 높은 저항률을 갖는다. 주로 IGBT, 고전압 정류기, 사이리스터 및 고전압 트랜지스터 제조에 사용됩니다. 및 기타 고전압 및 고전력 반도체 장치. Czochralski 방법으로 생산된 단결정 실리콘 웨이퍼는 집적회로 메모리, 마이크로프로세서, 휴대폰 칩, 저전압 트랜지스터, 전자 장치 및 기타 전자 제품에 널리 사용됩니다. %위에.

또한 우리나라의 전자급 폴리실리콘 시험장비는 여전히 수입에 의존하고 있다. 제조 측면에서 우리나라는 기본적으로 관련 장비 및 재료의 현지화를 해결했습니다. 그러나 폴리실리콘 제품의 핵심 테스트 장비는 저온 푸리에 변환 적외선 분광기 LT-FTIR, 유도 결합 플라즈마 질량 분석기 ICP-MS 등과 같은 수입에 전적으로 의존하며 테스트 프로세스에는 매우 높은 수준의 테스트가 필요합니다. 인원.

현재 전자급 폴리실리콘 생산 기술의 국제적 발전으로 볼 때 생산 공정에는 주로 실란법, 기액 증착법, 유동층 및 개량형 지멘스가 포함됩니다.

실란법은 생산단가가 높고 사용되는 실란은 폭발성, 가연성, 안전성이 떨어진다. 실온에서도 화재의 위험이 있습니다. 기체-액체 증착법은 일본이 개발하고 통제했습니다. 생산 시에는 주로 관형 반응기를 사용하며, 작동 온도 조건을 1500°C로 제어하여 기체에서 직접 액체 실리콘을 생성합니다. 현재 아직 연구 및 테스트 단계에 있습니다. 대량 생산에는 사용되지 않습니다. 유동층 공정 방법은 주로 제품 불순물의 포괄적인 제어를 수행하므로 고품질 전자 등급 폴리실리콘을 생산할 수 없습니다.

전자급 폴리실리콘은 우리나라의 국가경제, 사회, 국방안보와 직결되는 전자정보산업의 가장 기본적인 전략소재입니다. 전자 등급 실리콘 재료에 대한 다운스트림 기업의 요구를 충족시키기 위해 고순도 전자 등급 폴리실리콘을 지속적이고 안정적으로 생산하는 방법은 폴리실리콘 기업이 직면한 중요한 연구 주제입니다. 폴리실리콘 생산의 전 과정에서 모든 공정을 엄격하게 통제하고, 오염을 유발할 수 있는 다양한 요인을 최소화하며, 운영 과정에서 더욱 린(lean)하고 정제된 작업을 구현하고, 나쁜 습관을 바꾸고, 관리를 개선해야 합니다. 전자 등급 폴리실리콘은 시장에서 한 자리를 차지하고 있습니다.