Поликремний электронного класса: «пища» электронной информационной индустрии
Благодаря бурному развитию фотогальванической промышленности отечественная поликремниевая промышленность достигла самого большого в мире объема производства чуть более чем за десять лет, а себестоимость продукции также достигла передового мирового уровня. Высокочистый поликремний является основным сырьем для информационной индустрии и солнечной фотоэлектрической энергетики, и многие развитые страны мира рассматривают его как стратегический материал.
Требования к чистоте поликремния электронного качества чрезвычайно высоки, и это самое чистое вещество, которое может быть получено в результате промышленного производства человека.
Поликремний электронной марки можно разделить на поликремний электронной марки для зонной плавки и поликремний электронной марки Чохральского. Требования к качеству поликремния для электронной зонной плавки более строгие. Монокристаллический кремний, полученный методом зонной плавки, имеет низкое содержание кислорода и углерода, низкую концентрацию носителей и высокое удельное сопротивление. Он в основном используется в производстве IGBT, высоковольтных выпрямителей, тиристоров и высоковольтных транзисторов. и другие высоковольтные и мощные полупроводниковые приборы. Пластины монокристаллического кремния, полученные методом Чохральского, широко используются в интегральных схемах памяти, микропроцессорах, микросхемах мобильных телефонов, низковольтных транзисторах, электронных устройствах и других электронных продуктах. %выше.
Кроме того, используемое в моей стране электронное испытательное оборудование для поликремния по-прежнему зависит от импорта. Что касается производства, моя страна в основном решила проблему локализованной замены соответствующего оборудования и материалов. Однако основное испытательное оборудование для продуктов из поликремния полностью зависит от импорта, например, низкотемпературный инфракрасный спектрометр с преобразованием Фурье LT-FTIR, масс-спектрометр с индуктивно связанной плазмой ICP-MS и т. д., а процесс испытаний требует чрезвычайно высокого уровня испытаний. персонал.
Судя по текущему международному развитию технологии производства поликремния электронного качества, производственные процессы в основном включают силановый метод, метод газожидкостного осаждения, псевдоожиженный слой и усовершенствованный Сименс.
Стоимость производства силанового метода высока, а используемый силан взрывоопасен, легко воспламеняется и имеет низкую безопасность. Даже при комнатной температуре существует опасность возгорания. Метод газожидкостного осаждения был разработан и контролируется Японией. В производстве в основном используется трубчатый реактор, а рабочая температура поддерживается на уровне 1500 °C для получения жидкого кремния непосредственно в газе. В настоящее время он все еще находится на стадии исследований и испытаний. Не используется для массового производства. Метод псевдоожиженного слоя в основном предназначен для комплексного контроля примесей в продукте, поэтому он не может производить высококачественный поликремний для электронных устройств.
Поликремний электронного качества является самым основным стратегическим материалом в электронной информационной индустрии, которая связана с национальной экономикой, обществом и безопасностью национальной обороны моей страны. Как непрерывно и стабильно производить высокочистый поликремний для электронных устройств, чтобы удовлетворить потребности перерабатывающих предприятий в кремниевых материалах для электронных устройств, является важной темой исследований, с которой сталкиваются предприятия по производству поликремния. Необходимо строго контролировать все процессы во всем процессе производства поликремния, сводить к минимуму различные факторы, которые могут вызвать загрязнение, а в дальнейшем внедрять бережливые и рафинированные операции в производственном процессе, изменять вредные привычки и улучшать управление. Поликремний электронного качества имеет место на рынке.