{"id":134224,"date":"2024-09-09T16:03:54","date_gmt":"2024-09-09T08:03:54","guid":{"rendered":"https:\/\/www.alpapowder.com\/134224\/"},"modified":"2024-09-09T16:03:56","modified_gmt":"2024-09-09T08:03:56","slug":"%d0%b7%d0%bd%d0%b0%d1%87%d0%b5%d0%bd%d0%b8%d0%b5-%d0%bd%d0%b8%d1%82%d1%80%d0%b8%d0%b4%d0%b0-%d0%ba%d1%80%d0%b5%d0%bc%d0%bd%d0%b8%d1%8f-sinx-%d0%b2-%d1%87%d0%b8%d0%bf%d0%b0%d1%85","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.alpapowder.com\/ru\/134224\/","title":{"rendered":"\u0417\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiNx) \u0432 \u0447\u0438\u043f\u0430\u0445"},"content":{"rendered":"
<\/p>\n
\u0412 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0435\u0441\u0442\u044c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0438\u0433\u0440\u0430\u0435\u0442 \u0436\u0438\u0437\u043d\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c, \u0430 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiNx). \u0425\u043e\u0442\u044f \u043e\u043d \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0436\u0435 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043a\u0430\u043a \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 (Si), \u0430\u0440\u0441\u0435\u043d\u0438\u0434 \u0433\u0430\u043b\u043b\u0438\u044f (GaAs) \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0433\u0430\u043b\u043b\u0438\u044f (GaN), \u0435\u0433\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u043e\u043c\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439. \u041c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0441\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b.<\/p>\n
\u0412 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u043d\u0435\u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u0435\u043d, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d SiNx. SiNx \u2014 \u044d\u0442\u043e \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b, \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0442 \u043e\u0442 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u0437\u043e\u0442\u0430 \u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0442\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f x. \u041f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f x \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f. \u041d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0432\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0445, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f Si3N4, Si2N2, SiN \u0438 \u0442. \u0434.<\/p>\n
Si3N4 \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u0430 \u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e. \u041a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 x \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e 4\/3, SiNx \u0440\u0430\u0432\u0435\u043d Si3N4. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0432 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 SiNx \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u043d\u0435 \u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d, \u0438 \u0435\u0433\u043e \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043a \u0430\u0437\u043e\u0442\u0443 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u044f\u044f \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 PVD \u0438\u043b\u0438 CVD.<\/p>\n
\u041d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 \u0441 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043e 10^14 \u041e\u043c\u00b7\u0441\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiO2<\/a>). \u0415\u0433\u043e \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445. \u0421\u043b\u043e\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043a\u0430\u043a \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u0432 \u0447\u0438\u043f\u0435. \u041e\u043d \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u044f\u043c\u0438, \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043a\u0430\u043a \u0431\u043e\u0440 \u0438 \u0444\u043e\u0441\u0444\u043e\u0440, \u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043e\u043d \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u044e \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044f \u043d\u0435\u0438\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u0438\u0435 \u0437\u0430\u043c\u044b\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n \u041d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0435\u0433\u043e \u043e\u0441\u043e\u0431\u044b\u043c\u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439. \u041e\u043d \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 \u0431\u0435\u0437 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u043a\u0430\u043a \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043c\u0443, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0430\u0442\u043e\u043c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u044a\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d \u0441 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u044c\u043c\u044f \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u043c\u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u0430 \u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0435 \u0442\u0435\u0442\u0440\u0430\u044d\u0434\u0440\u0430, \u0438 \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0430\u0442\u043e\u043c \u0430\u0437\u043e\u0442\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043e\u0431\u044a\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d \u0441 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u044c\u043c\u044f \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0435 \u0442\u0435\u0442\u0440\u0430\u044d\u0434\u0440\u0430. \u0422\u0430\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0443 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u043d\u0435\u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u043f\u043e\u0434\u0434\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439\u0441\u044f \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0435\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 (HEMT).<\/p>\n