{"id":134228,"date":"2024-09-09T16:06:20","date_gmt":"2024-09-09T08:06:20","guid":{"rendered":"https:\/\/www.alpapowder.com\/134228\/"},"modified":"2024-09-09T16:06:21","modified_gmt":"2024-09-09T08:06:21","slug":"%e0%b8%84%e0%b8%a7%e0%b8%b2%e0%b8%a1%e0%b8%aa%e0%b8%b3%e0%b8%84%e0%b8%b1%e0%b8%8d%e0%b8%82%e0%b8%ad%e0%b8%87%e0%b8%8b%e0%b8%b4%e0%b8%a5%e0%b8%b4%e0%b8%81%e0%b8%ad%e0%b8%99%e0%b9%84%e0%b8%99%e0%b9%84","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.alpapowder.com\/th\/134228\/","title":{"rendered":"\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (SiNx) \u0e43\u0e19\u0e0a\u0e34\u0e1b"},"content":{"rendered":"
<\/p>\n
\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e0a\u0e34\u0e1b \u0e21\u0e35\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1a\u0e17\u0e1a\u0e32\u0e17\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d \u0e19\u0e31\u0e48\u0e19\u0e04\u0e37\u0e2d \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (SiNx) \u0e41\u0e21\u0e49\u0e27\u0e48\u0e32\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e2d\u0e32\u0e08\u0e44\u0e21\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e19\u0e43\u0e08\u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19\u0e46 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19 (Si) \u0e41\u0e01\u0e25\u0e40\u0e25\u0e35\u0e22\u0e21\u0e2d\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e44\u0e19\u0e14\u0e4c (GaAs) \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e41\u0e01\u0e25\u0e40\u0e25\u0e35\u0e22\u0e21\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (GaN) \u0e41\u0e15\u0e48\u0e01\u0e47\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e44\u0e21\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e07\u0e2a\u0e31\u0e22 \u0e01\u0e25\u0e48\u0e32\u0e27\u0e44\u0e14\u0e49\u0e27\u0e48\u0e32\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e08\u0e30\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e19\u0e35\u0e49<\/p>\n
\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e41\u0e2d\u0e1b\u0e1e\u0e25\u0e34\u0e40\u0e04\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46 \u0e21\u0e31\u0e01\u0e44\u0e21\u0e48\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d \u0e42\u0e14\u0e22\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e08\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 SiNx SiNx \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2d\u0e2a\u0e31\u0e13\u0e10\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e19\u0e42\u0e15\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19 \u0e19\u0e31\u0e48\u0e19\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e04\u0e48\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07 x \u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e48\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07 x \u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07 \u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e25\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e01\u0e47\u0e08\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07\u0e44\u0e1b\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22 \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e21\u0e35\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07 Si3N4, Si2N2, SiN \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e49\u0e19<\/p>\n
Si3N4 \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e27\u0e48\u0e32\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e44\u0e19\u0e42\u0e15\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19\u0e08\u0e30\u0e04\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48 \u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e48\u0e32 x \u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a 4\/3 SiNx \u0e08\u0e30\u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a Si3N4 \u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e44\u0e23\u0e01\u0e47\u0e15\u0e32\u0e21 \u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e08\u0e23\u0e34\u0e07 SiNx \u0e21\u0e31\u0e01\u0e08\u0e30\u0e44\u0e21\u0e48\u0e04\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e44\u0e19\u0e42\u0e15\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e14\u0e49\u0e42\u0e14\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e1e\u0e32\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 PVD \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d CVD<\/p>\n
\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e21\u0e35\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e35\u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07 10^14 \u03a9\u00b7cm \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c (SiO2<\/a>) \u0e21\u0e32\u0e01 \u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e14\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e15\u0e23\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e48\u0e33\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e41\u0e22\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e40\u0e27\u0e1f\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e35\u0e48\u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e38 \u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e22\u0e31\u0e07\u0e17\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e2a\u0e23\u0e23\u0e04\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e19\u0e43\u0e19\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e2d\u0e35\u0e01\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22 \u0e21\u0e31\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e21\u0e48\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e19 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e42\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1f\u0e2d\u0e2a\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e31\u0e2a \u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22 \u0e19\u0e2d\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e22\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1c\u0e34\u0e14\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e14 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e25\u0e31\u0e14\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e35\u0e01\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22<\/p>\n \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e21\u0e35\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e42\u0e14\u0e22\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29\u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01 \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e04\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e42\u0e14\u0e22\u0e44\u0e21\u0e48\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e25\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19\u0e46 \u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e15\u0e48\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e08\u0e30\u0e23\u0e27\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e44\u0e19\u0e42\u0e15\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19\u0e2a\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e35\u0e48\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e44\u0e19\u0e42\u0e15\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19\u0e41\u0e15\u0e48\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e22\u0e31\u0e07\u0e23\u0e27\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e35\u0e48\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e2d\u0e35\u0e01\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22 \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e15\u0e32\u0e02\u0e48\u0e32\u0e22\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e44\u0e21\u0e48\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e07\u0e48\u0e32\u0e22 \u0e08\u0e36\u0e07\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e40\u0e01\u0e15\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e15\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 (HEMT)<\/p>\n