{"id":134230,"date":"2024-09-09T16:07:06","date_gmt":"2024-09-09T08:07:06","guid":{"rendered":"https:\/\/www.alpapowder.com\/134230\/"},"modified":"2024-09-09T16:07:07","modified_gmt":"2024-09-09T08:07:07","slug":"yongalarda-silisyum-nitrurun-sinx-onemi","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/134230\/","title":{"rendered":"Yongalarda Silisyum Nitr\u00fcr’\u00fcn (SiNx) \u00d6nemi"},"content":{"rendered":"

\"\"<\/p>\n

\u00c7ip \u00fcretiminde, hayati bir rol oynayan bir malzeme vard\u0131r, o da silisyum nitr\u00fcrd\u00fcr (SiNx). Silisyum (Si), galyum arsenit (GaAs) veya galyum nitr\u00fcr (GaN) gibi di\u011fer daha iyi bilinen yar\u0131 iletken malzemeler kadar ilgi g\u00f6rmese de, \u00f6nemi tart\u0131\u015f\u0131lmazd\u0131r. \u00c7o\u011fu \u00e7ipin bu malzemeyi kullanaca\u011f\u0131 s\u00f6ylenebilir.<\/p>\n

Yar\u0131 iletken end\u00fcstrisinde, \u00e7e\u015fitli uygulamalarda kullan\u0131lan silisyum nitr\u00fcr genellikle tekd\u00fcze de\u011fildir ve genellikle SiNx ile temsil edilir. SiNx, \u00f6zellikleri nitrojen\/silisyum oran\u0131na, yani x de\u011ferine ba\u011fl\u0131 olan amorf bir malzemedir. x de\u011feri de\u011fi\u015fti\u011finde, silisyum nitr\u00fcr\u00fcn fiziksel ve kimyasal \u00f6zellikleri de de\u011fi\u015fecektir. Silisyum nitr\u00fcr, Si3N4, Si2N2, SiN vb. dahil olmak \u00fczere bir\u00e7ok formda gelir.<\/p>\n

Si3N4, kristalin bir malzemedir, yani silisyum\/nitrojen oran\u0131 sabittir. x de\u011feri 4\/3’e e\u015fit oldu\u011funda, SiNx, Si3N4’e e\u015fittir. Ancak pratik uygulamalarda SiNx genellikle sabit de\u011fildir ve silisyum\/azot oran\u0131 PVD veya CVD i\u015fleminin parametreleri de\u011fi\u015ftirilerek ayarlanabilir.<\/p>\n

Silisyum nitr\u00fcr, silisyum oksit (SiO2<\/a>) gibi baz\u0131 yayg\u0131n yal\u0131t\u0131m malzemelerini \u00e7ok a\u015fan 10^14 \u03a9\u00b7cm’ye kadar bir \u00f6zdiren\u00e7le m\u00fckemmel yal\u0131t\u0131m \u00f6zelliklerine sahiptir. D\u00fc\u015f\u00fck dielektrik sabiti onu mikrodalga ve radyo frekans\u0131 uygulamalar\u0131nda ideal bir izolasyon tabakas\u0131 yapar. Silisyum nitr\u00fcr tabakas\u0131 ayr\u0131ca \u00e7ipte safs\u0131zl\u0131k dif\u00fczyonuna kar\u015f\u0131 bir bariyer g\u00f6revi g\u00f6r\u00fcr. Bor ve fosfor gibi katk\u0131 maddelerinin dif\u00fczyon yoluyla cihaz \u00f6zelliklerini de\u011fi\u015ftirmesini \u00f6nleyebilir. Ayr\u0131ca k\u0131sa devre gibi ar\u0131zalar\u0131 \u00f6nlemek i\u00e7in metal iyonlar\u0131n\u0131n dif\u00fczyonunu da \u00f6nleyebilir.<\/p>\n

Silisyum nitr\u00fcr, \u00f6zel kimyasal \u00f6zellikleri ve kristal yap\u0131s\u0131yla belirlenen m\u00fckemmel termal kararl\u0131l\u0131\u011fa sahiptir. Di\u011fer malzemeler gibi kimyasal ayr\u0131\u015fma veya fiziksel de\u011fi\u015fiklikler olmadan y\u00fcksek s\u0131cakl\u0131k ortamlar\u0131nda kararl\u0131 kalabilir. Bunun nedeni, silisyum nitr\u00fcr\u00fcn kristal yap\u0131s\u0131nda, her silisyum atomunun d\u00f6rtl\u00fc bir tetrahedron bi\u00e7iminde d\u00f6rt azot atomuyla birle\u015fmesi ve her azot atomunun da d\u00f6rtl\u00fc bir tetrahedron bi\u00e7iminde d\u00f6rt silisyum atomuyla birle\u015fmesidir. Bu yap\u0131, silisyum nitr\u00fcr\u00fcn kristal kafesini son derece kararl\u0131 hale getirir ve deforme olmas\u0131 kolay de\u011fildir. Bu nedenle, y\u00fcksek elektron hareketlili\u011fine sahip transist\u00f6rler (HEMT’ler) \u00fcretilirken bir kap\u0131 yal\u0131t\u0131m tabakas\u0131 olarak kullan\u0131l\u0131r.<\/p>\n

SiNx’in SiO2<\/a>‘ye g\u00f6re avantajlar\u0131 nelerdir?<\/p>\n

Daha iyi termal kararl\u0131l\u0131k, daha sert sertlik ve a\u015f\u0131nd\u0131r\u0131lmas\u0131 daha zordur.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Yar\u0131 iletken end\u00fcstrisinde \u00e7e\u015fitli uygulamalarda kullan\u0131lan silisyum nitr\u00fcr genellikle homojen olmay\u0131p, genellikle SiNx ile temsil edilmektedir.<\/p>\n","protected":false},"author":7,"featured_media":134195,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[851],"tags":[],"class_list":["post-134230","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-endustri-haberleri-tr"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/134230"}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/wp-json\/wp\/v2\/users\/7"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=134230"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/134230\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":134231,"href":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/134230\/revisions\/134231"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/wp-json\/wp\/v2\/media\/134195"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=134230"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=134230"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=134230"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}