{"id":134230,"date":"2024-09-09T16:07:06","date_gmt":"2024-09-09T08:07:06","guid":{"rendered":"https:\/\/www.alpapowder.com\/134230\/"},"modified":"2024-09-09T16:07:07","modified_gmt":"2024-09-09T08:07:07","slug":"yongalarda-silisyum-nitrurun-sinx-onemi","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.alpapowder.com\/tr\/134230\/","title":{"rendered":"Yongalarda Silisyum Nitr\u00fcr’\u00fcn (SiNx) \u00d6nemi"},"content":{"rendered":"
<\/p>\n
\u00c7ip \u00fcretiminde, hayati bir rol oynayan bir malzeme vard\u0131r, o da silisyum nitr\u00fcrd\u00fcr (SiNx). Silisyum (Si), galyum arsenit (GaAs) veya galyum nitr\u00fcr (GaN) gibi di\u011fer daha iyi bilinen yar\u0131 iletken malzemeler kadar ilgi g\u00f6rmese de, \u00f6nemi tart\u0131\u015f\u0131lmazd\u0131r. \u00c7o\u011fu \u00e7ipin bu malzemeyi kullanaca\u011f\u0131 s\u00f6ylenebilir.<\/p>\n
Yar\u0131 iletken end\u00fcstrisinde, \u00e7e\u015fitli uygulamalarda kullan\u0131lan silisyum nitr\u00fcr genellikle tekd\u00fcze de\u011fildir ve genellikle SiNx ile temsil edilir. SiNx, \u00f6zellikleri nitrojen\/silisyum oran\u0131na, yani x de\u011ferine ba\u011fl\u0131 olan amorf bir malzemedir. x de\u011feri de\u011fi\u015fti\u011finde, silisyum nitr\u00fcr\u00fcn fiziksel ve kimyasal \u00f6zellikleri de de\u011fi\u015fecektir. Silisyum nitr\u00fcr, Si3N4, Si2N2, SiN vb. dahil olmak \u00fczere bir\u00e7ok formda gelir.<\/p>\n
Si3N4, kristalin bir malzemedir, yani silisyum\/nitrojen oran\u0131 sabittir. x de\u011feri 4\/3’e e\u015fit oldu\u011funda, SiNx, Si3N4’e e\u015fittir. Ancak pratik uygulamalarda SiNx genellikle sabit de\u011fildir ve silisyum\/azot oran\u0131 PVD veya CVD i\u015fleminin parametreleri de\u011fi\u015ftirilerek ayarlanabilir.<\/p>\n